三坐標平臺精度：按規范計量檢定規程履行，分別為0、1、2、3四個等級。三坐標平臺相對來說精度比較高，平板鑄件在機床精加工以后，還需要人工刮研才能到達需求的精度。一般都是用涂色法檢驗：
0級1級平板平臺在每邊為25㎜平方的范圍內不少于25點。2級平板平臺在每邊為25㎜平方的范圍內不少于20點。
3級平板平臺在每邊為25㎜平方的范圍內不少于12點。
三坐標平臺/三坐標平板精度：按規范計量檢定規程履行，分別為0、1、2、3四個等級，平板裝置就調至水平、負荷均勻分布于各支點上。環境溫度（20±5）℃。運用時應防止振動。
三坐標平臺/三坐標平板的養護，因為平板固體外表較粗糙，兩物體外表總是在單個點上發作摩擦，會發生很大的單位壓力，在單位壓力作用下，摩擦面的磨損也隨磨擦力的不一樣而不一樣，合理的平板刮研摩擦斑駁能夠延伸平板的運用壽命。平板材料、硬度、環境以及保護、養護等要素也會對刮研摩擦斑駁的磨損發生不一樣影響。
三坐標平臺/三坐標平板標準:100mm×100mm—3000mm×6000mm。
| 鑄鐵平板規格（長×寬）mm | 鑄鐵平板精度等級 | ||
| 平面度公差（um） | 1級 | 2級 | 3級 |
| 200×200 | 10 | 20 | 50 |
| 300×200 | 12 | 24 | 60 |
| 300×300 | 12 | 24 | 60 |
| 300×400 | 12 | 24 | 60 |
| 400×400 | 12 | 24 | 60 |
| 400×600 | 14 | 28 | 70 |
| 500×500 | 14 | 28 | 70 |
| 500×600 | 14 | 28 | 70 |
| 500×800 | 16 | 32 | 80 |
| 600×800 | 16 | 32 | 80 |
| 600×900 | 16 | 32 | 80 |
| 1000×750 | 18 | 36 | 90 |
| 1000×1000 | 20 | 39 | 96 |
| 1000×1200 | 20 | 40 | 100 |
| 1000×1500 | 24 | 48 | 120 |
| 1000×2000 | 26 | 52 | 130 |
| 1500×2000 | 28 | 56 | 140 |
| 1500×2500 | 32 | 64 | 152 |
| 1500×3000 | 70 | 174 | |
| 2000×3000 | 74 | 184 | |
| 2000×4000 | 88 | 219 | |
